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智感未仪(北京)科技有限公司
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Aisenso
气体质量流量控制器
发布日期：2025-08-19
性能指标：
| 项目 | 性能参数 | |
| 1 | 流量规格 | 200 SCCM |
| 2 | 准确度 | ±1.5 % F.S |
| 3 | 重复精度 | ±1 %F.S |
| 4 | 耐压 | 0.6MPa |
| 5 | 工作温度 | 0℃~55℃ |
| 6 | 工作压差 | 0.2~0.3MPa |
| 7 | 通讯方式 | RS485 |
| 8 | 通讯协议 | MODBUS RTU |
| 9 | 电源 | 12VDC |
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